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Products
更新時(shí)間:2025-03-13
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產(chǎn)品介紹
數(shù)據(jù)表
美國(guó)Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脈沖能量傳感器，重復(fù)頻率高達(dá) 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效面積直徑為 50 mm。帶 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能量傳感器，用于以高達(dá) 200 pps 的速度測(cè)量 125 μJ 至 250 mJ 的激光脈沖。
這款 J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器，以提高最大能量密度，并針對(duì)在 193 nm 下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接在 248 nm 處校準(zhǔn)，包括 193 nm 至 266 nm 的光譜補(bǔ)償。它端接在 SmartProbe DB25 電纜中，直接與 FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P、LabMax-TOP 和 LabMax-Pro SSIM 儀表兼容。
大型散熱器 （PN 1123432） 可用于通過提高平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)頻率。
主要特點(diǎn)
193 至 266 nm 光譜范圍
50 mm 有效區(qū)域直徑
125 μJ 至 250 mJ 能量范圍
200 pps 重復(fù)率操作
ISO 17025 認(rèn)證
產(chǎn)品規(guī)格
| 電纜類型 | J DB-25 |
| 有效面積直徑 | 50 mm |
| 探測(cè)器涂層 | MaxUV |
| 能量范圍 | 125 μJ 至 250 mJ |
| 波長(zhǎng)范圍 | 190 nm 至 266 nm |
| 噪聲等效能量 | <4 μJ |
| 最大熱釋電重復(fù)速率（每秒脈沖數(shù)） | 200 |
| 最大脈沖寬度（微秒） | 86 |
| 最大能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 200 （@193nm， 10納秒） |
| 最大能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 400 （193 nm，10 ns） |
| 擴(kuò)散 | DUV |
| 校準(zhǔn)不確定度 （%）（k=2） | ±3 |
| 能量線性度 （%） | ±3 |
| 校準(zhǔn)波長(zhǎng)（納米） | 193 |
| 電纜長(zhǎng)度（米） | 2.5 |
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